国产设备技术及市场突破值得关注，优势企业初步具备进口替代能力受益于中国大陆半导体产能持续扩张，2020年以来全球半导体设备需求持续上行，9月北美设备出货额达27.48亿美元/yoy+40%，创单月出货历史新高(SEMI数据)。8月以来长江存储新一轮设备招标密集落地，中微公司(行情688012,诊股)、北方华创(行情002371,诊股)、上海精测、中科飞测、盛美股份、华海清科等国产设备企业陆续中标。我们认为，近期本土晶圆厂扩产及自主可控意识提升所带来的国产设备需求及本土设备企业在技术、市场份额的突破值得关注，刻蚀、薄膜沉积设备及半导体供气环节有望突出受益，建议关注能够进入主流晶圆厂供应体系并契合未来工艺方向的优势企业。

　　全球半导体设备景气上行

　　据SEMI数据，北美(全球最主要的半导体设备产地)半导体设备出货额于2019年10月结束了连续11个月的下滑恢复正增长，进入2020年以来持续保持高速增长，7-9月同比增速达27%、33%、40%，一定程度上反映了在疫情影响下全球设备需求仍然强劲，我们认为中国晶圆厂的持续扩产是其重要驱动因素。2019Q4-2020Q2，中国大陆半导体设备销售额同比增长60%、48%、37%，远高于全球19%、13%、26%的同比增速。考虑芯片自主可控需求提升及技术进步、中芯国际(行情688981,诊股)登陆科创板、中芯南方获大基金增资等因素，国内扩产进程有望进一步加快，推动设备需求上行。

　　设备国产化已取得阶段性进展

　　伴随一期扩产及二期开工，8月以来长江存储开启新一轮较集中的设备招标，其中8月至今拟中标的本土企业：中微公司(12台刻蚀机)、北方华创(1台PVD设备、9台刻蚀机、28台热处理设备)、上海精测(3台量测设备)、中科飞测(1台量测设备)、盛美股份(8台清洗机)、华海清科(10台CMP设备)、屹唐(3台刻蚀机、16台去胶设备)。2020年以来国产中标份额：1)刻蚀：中微公司15%、北方华创9%；2)CVD：沈阳拓荆3%；3)PVD：北方华创57%；4)工艺检测：上海精测6%；5)热处理：北方华创28%；6)清洗：盛美股份31%；7)CMP：华海清科38%。

　　科创板助力设备崛起

　　10月10日中微公司发布定增募集说明书(申报稿)，本次向特定对象发行股票总额不超过100亿元，募资项目建成后，一方面能够扩充现有产品的产能，另一方面通过建设产业化基地及研发中心助力产品线扩张。据公司未来发展战略，将考虑扩大在刻蚀设备领域的竞争优势，延伸到薄膜、检测等其他关键设备领域；计划扩展在泛半导体领域设备的应用，布局显示、MEMS、功率器件、太阳能(行情000591,诊股)领域关键设备。10月15日本土CMP设备企业华海清科发布IPO招股说明书(申报稿)，募资拟投入高端半导体装备(化学机械抛光机)产业化、高端半导体装备研发、晶圆再生扩产升级等。

　　风险提示：宏观经济下行及半导体行业周期性波动的风险；海外疫情加剧的风险；国内芯片制造技术突破慢于预期、产业投资不及预期的风险；国内半导体设备技术突破慢于预期的风险。