截至2026年5月13日11:07，科创半导体ETF华夏(588170)下跌0.35%，半导体设备ETF华夏(562590)下跌1.87%。热门个股方面涨跌互现，中船特气领涨20.00%，晶升股份上涨20.00%，天岳先进上涨13.85%；芯源微领跌5.66%，耐科装备下跌4.75%，安集科技下跌4.52%。

消息面上，中微公司昨日(5月13日)举行2026年第一季度业绩说明会。中微公司董事长尹志尧于会上表示，通过有机生长和外延扩展，公司将在五年左右时间内，覆盖60%以上的集成电路高端关键设备、70%以上的先进封装设备，全面成长为国内领先、全球一流的集成电路设备平台型公司。

相关ETF：科创半导体ETF华夏(588170)及其联接基金(A类：024417；C类：024418)：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高(约50%)，聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏(562590)及其联接基金(A类：020356；C类：020357)：跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高(约63%)，直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”(设备商)的确定性需求。