截至9:46，科创半导体ETF华夏(588170)跌0.36%，低开后，跌幅收窄。个股方面，新益昌领涨11.51%，晶升股份上涨9.43%，天岳先进上涨6.03%；中芯国际领跌3.53%，盛美上海下跌3.22%，龙图光罩下跌3.12%。

据华海清科消息，近日，华海清科全资子公司芯嵛半导体(上海)有限公司自主研发的12英寸大束流离子注入机iPUMA-LE成功交付国内先进存储领域龙头企业。公司表示，这是继此前该装备批量交付多家集成电路制造头部企业后，华海清科离子注入系列装备在存储芯片领域的又一重要进展。

相关ETF：科创半导体ETF华夏(588170)及其联接基金(A类：024417；C类：024418)：跟踪指数是科创板唯一的半导体设备主题指数，其中先进封装含量在全市场中最高(约50%)，聚焦于科技创新前沿的硬核设备公司。

半导体设备ETF华夏(562590)及其联接基金(A类：020356；C类：020357)：跟踪中证半导体材料设备主题指数，其中半导体设备的含量在全市场指数中最高(约63%)，直接受益于全球芯片涨价潮对“卖铲人”(设备商)的确定性需求。