截至2025年11月11日 10:50，上证科创板半导体材料设备主题指数盘中震荡。成分股方面涨跌互现，神工股份20cm涨停，天岳先进上涨5.28%，艾森股份上涨4.70%；和林微纳领跌3.70%，新益昌下跌3.39%，中科飞测下跌3.13%。科创半导体ETF(588170)上涨0.13%，最新价报1.49元。

流动性方面，科创半导体ETF(588170)盘中换手11.23%，成交4.29亿元，市场交投活跃。拉长时间看，截至11月10日，科创半导体ETF(588170)近1月日均成交5.65亿元，领先同类。

规模方面，科创半导体ETF(588170)近3月规模增长33.38亿元，实现显著增长。

消息面上，11月10日，A股半导体设备板块表现强势，拓荆科技再创历史新高，年涨幅超过120%，板块个股集体上扬。华海清科、中微公司等企业前三季度营收与净利润实现双位数增长，存货与合同负债规模持续攀升，预示着订单饱满、业绩释放可期。随着国产设备在刻蚀、薄膜沉积等关键工艺上不断突破，一场由存储扩产带动的设备国产化浪潮，正在资本市场上掀起波澜。

德邦证券指出，从全球来看，本轮AI带动的半导体扩产仍在持续，25Q2全球半导体设备销售额达到331亿美元，同比增长23%；9月日本半导体设备销售额达到4246亿日元，同比增长14.9%。同时我们注意到海外大厂Q3中国区营收快速增长，随着海外关键设备的进一步到位，国内先进制程扩产有望加速。从国内来看，Q3国产半导体设备厂商营收大幅增长，这不仅反映设备公司去年订单情况良好，也反映今年下游晶圆厂进展顺利，订单兑现度强。同时设备公司研发费用依旧保持高速增长，研发费用率在营收大幅增长的情况下没有出现下滑，国产半导体设备公司研发投入意愿强，国内半导体产业链有望加速发展。

相关ETF：公开信息显示， 科创半导体ETF(588170)及其联接基金(A类：024417；C类：024418)跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中 半导体设备(61%)和半导体材料(23%)细分领域的硬科技公司。 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求，扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体材料ETF(562590)及其联接基金(A类：020356、C类：020357)，指数中半导体设备(61%)、半导体材料(21%)占比靠前，充分聚焦半导体上游。